요약하자면, 우리는 다이아몬드 내 NV 센터의 원자 규모 이미징을 최초로 달성했으며, 이는 NV 센터의 구조적 및 분포적 특성을 규명하는 데 있어 중요한 진전입니다. MEP를 활용하고 DFT 시뮬레이션을 보완하여, 우리는 다양한 규모에서 NV 센터 집합체의 3차원 원자 구조, 공간 분포 및 변형 특성을 밝혀냈습니다. 우리의 분석에 따르면, 하나의 축적된 NV 센터는 최소 4개의 개별 NV 센터로 구성되며, 이들은 2~4 nm 깊이 범위 내에서 3개 이상의 원자 기둥을 따라 배열되어 있고, [110] 투영 방향을 따라 클러스터 간 간격은 약 1~2 nm입니다.

다이아몬드 내 NV 센터 제작에 있어 전통적인 방법은 탄소 원자를 변위시키기 위해 전자 또는 중성자 조사를 이용하는데, 이는 개별 원자를 정밀하게 제거하는 것이 아니라 다이아몬드 격자에 필수적인 공공(vacancy)을 생성하는 국부적인 기계적 손상을 초래합니다. 이후 고온 어닐링 공정에서 이러한 공공은 손상된 격자에서 점차 방출되어 자유 상태가 되고, 주변의 질소 원자와 상호작용하여 NV 센터를 형성합니다.